Trautmann, Michael (2001)
Theoretische und praktische Untersuchung alternativer Substrate für piezoresistive Primärsensoren.
Technische Universität Darmstadt
Diplom- oder Magisterarbeit, Bibliographie
Kurzbeschreibung (Abstract)
Zusammenfassung:
In dieser Diplomarbeit wird, eine Wissensbasis geschaffen, die es erlaubt, alternative Trägermaterialien für Silizium-Drucksensoren auszuwählen. Dabei wird auf die Eigenschaften des Trägermaterials, die Möglichkeit zur Herstellung einer Verbindung mit Silizium und die daraus resultierenden Dehnungen und mechanischen Spannungen im Materialverbund eingegangen. Die alternativen Trägermaterialien werden in dieser Arbeit mit dem bisher verwendetem Pyrex® verglichen, welches aufgrund seiner eingeschränkten Langzeitstabilität unter Druckbelastung ersetzt werden soll. Untersucht werden dafür verschiedene Gläser, Keramiken, Metalle und Legierungen sowie Metallsalze. Aus den durchgeführten Betrachtungen geht hervor, daß Pyrex weiterhin das am besten an Silizium angepaßte Material ist. Es besteht jedoch eine große Vielfalt an Alternativen, welche es aufgrund der variierenden Materialeigenschaften ermöglichen, das Verhalten der Übertragungsfunktion des Silizium-Chips an die bestehenden Anforderungen ideal anzupassen.
| Typ des Eintrags: | Diplom- oder Magisterarbeit |
|---|---|
| Erschienen: | 2001 |
| Autor(en): | Trautmann, Michael |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Theoretische und praktische Untersuchung alternativer Substrate für piezoresistive Primärsensoren |
| Sprache: | Deutsch |
| Referenten: | Sindlinger, Dipl.-Ing. Stefan ; Werthschützky, Prof. Dr.- Roland |
| Publikationsjahr: | 4 September 2001 |
| Zugehörige Links: | |
| Kurzbeschreibung (Abstract): | Zusammenfassung: In dieser Diplomarbeit wird, eine Wissensbasis geschaffen, die es erlaubt, alternative Trägermaterialien für Silizium-Drucksensoren auszuwählen. Dabei wird auf die Eigenschaften des Trägermaterials, die Möglichkeit zur Herstellung einer Verbindung mit Silizium und die daraus resultierenden Dehnungen und mechanischen Spannungen im Materialverbund eingegangen. Die alternativen Trägermaterialien werden in dieser Arbeit mit dem bisher verwendetem Pyrex® verglichen, welches aufgrund seiner eingeschränkten Langzeitstabilität unter Druckbelastung ersetzt werden soll. Untersucht werden dafür verschiedene Gläser, Keramiken, Metalle und Legierungen sowie Metallsalze. Aus den durchgeführten Betrachtungen geht hervor, daß Pyrex weiterhin das am besten an Silizium angepaßte Material ist. Es besteht jedoch eine große Vielfalt an Alternativen, welche es aufgrund der variierenden Materialeigenschaften ermöglichen, das Verhalten der Übertragungsfunktion des Silizium-Chips an die bestehenden Anforderungen ideal anzupassen. |
| Freie Schlagworte: | Elektromechanische Konstruktionen, Mikro- und Feinwerktechnik, Ausdehnung thermisch, Bruchdehnung, Dehnungs- Spannungsverhalten, Dehnungsfestigkeit, Silizium-Glas-Verbindung, Temperaturverhalten Drucksensor, Trägermaterial für Si-Drucksensoren, Verbindungsverfahren Anforderungen, Verbindungsverfahren Eigenschaften |
| ID-Nummer: | 17/24 EMKD 1492 |
| Zusätzliche Informationen: | EMK-spezifische Daten: Lagerort Dokument: Archiv EMK, Kontakt über Sekretariate, Bibliotheks-Sigel: 17/24 EMKD 1492 Art der Arbeit: Diplomarbeit Beginn Datum: 30-05-2001 Ende Datum: 04-09-2001 Querverweis: keiner Studiengang: Elektrotechnik und Informationstechnik (ETiT) Vertiefungsrichtung: Mikro- und Feinwerktechnik (MFT) Abschluss: Diplom (MFT) |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018) 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mess- und Sensortechnik |
| Hinterlegungsdatum: | 07 Sep 2011 16:36 |
| Letzte Änderung: | 05 Mär 2013 09:53 |
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| Referenten: | Sindlinger, Dipl.-Ing. Stefan ; Werthschützky, Prof. Dr.- Roland |
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