TU Darmstadt / ULB / TUbiblio

Bestimmung des Einflusses von Oxid-Schichten und der Temperatur auf die Entwurfskennwerte von realen Si- Druckmeßplatten

Erbse, Dirk (2001):
Bestimmung des Einflusses von Oxid-Schichten und der Temperatur auf die Entwurfskennwerte von realen Si- Druckmeßplatten.
Technische Universität Darmstadt, [Seminar paper (Midterm)]

Abstract

Zusammenfassung:

In dieser Studienarbeit geht es um den Vergleich zwischen der analytischen Berechnung und der Finite Elemente Simulation des Durchbiegungsverhaltens von Si-Drucksensoren, auf die eine SiO2 Schicht zur Passivierung aufgebracht worden ist. Der Drucksensor wurde dazu auf das Problem eines eingespannten, rechteckigen Si-Sio2-Schichtverbund reduziert, dessen Durchbiegung bestimmt werden soll. Die Durchbiegung wurde analytisch mit Hilfe des Programmes Mathematika berechent. Die Simulationen mit der Finiten Elemente Methode wurde mit dem Simulationsprogramm (Finite Elemente Programm) ANSYS realisiert. In der Arbeit werden mit Hilfe der Finite Elemente Simulation die Grenzen der analytischen Ansätze gezeigt, die bei der Berechnungen von Schichtverbünden entstehen. Als theoretische Ansätze wurde eine durch die Laminattheorie verbesserte Kirchhoff-Gleichung benutzt. Ferner wurde eine äquivalente Platte berechnet. Die Arbeit zeigt, dass die theoretischen Berechnungen nur innerhalb enger Grenzen möglich sind und die theoretischen Ansätze bei sehr dünnen und dickeren Platten (größer 1:4) keine brauchbaren Ergebnisse liefern. Es liegen Simulationen und automatisierte Brechnungen auf CD vor.

Item Type: Seminar paper (Midterm)
Erschienen: 2001
Creators: Erbse, Dirk
Title: Bestimmung des Einflusses von Oxid-Schichten und der Temperatur auf die Entwurfskennwerte von realen Si- Druckmeßplatten
Language: German
Abstract:

Zusammenfassung:

In dieser Studienarbeit geht es um den Vergleich zwischen der analytischen Berechnung und der Finite Elemente Simulation des Durchbiegungsverhaltens von Si-Drucksensoren, auf die eine SiO2 Schicht zur Passivierung aufgebracht worden ist. Der Drucksensor wurde dazu auf das Problem eines eingespannten, rechteckigen Si-Sio2-Schichtverbund reduziert, dessen Durchbiegung bestimmt werden soll. Die Durchbiegung wurde analytisch mit Hilfe des Programmes Mathematika berechent. Die Simulationen mit der Finiten Elemente Methode wurde mit dem Simulationsprogramm (Finite Elemente Programm) ANSYS realisiert. In der Arbeit werden mit Hilfe der Finite Elemente Simulation die Grenzen der analytischen Ansätze gezeigt, die bei der Berechnungen von Schichtverbünden entstehen. Als theoretische Ansätze wurde eine durch die Laminattheorie verbesserte Kirchhoff-Gleichung benutzt. Ferner wurde eine äquivalente Platte berechnet. Die Arbeit zeigt, dass die theoretischen Berechnungen nur innerhalb enger Grenzen möglich sind und die theoretischen Ansätze bei sehr dünnen und dickeren Platten (größer 1:4) keine brauchbaren Ergebnisse liefern. Es liegen Simulationen und automatisierte Brechnungen auf CD vor.

Uncontrolled Keywords: Elektromechanische Konstruktionen, Mikro- und Feinwerktechnik, Biegeelement Berechnung, Durchbiegung, Finite Elemente Programm ANSYS, Schichtverbund Berechnung, Simulation Drucksensor resistiv, Simulationsprogramm ANSYS, Si-Sio2-Schichtverbund
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design > Measurement and Sensor Technology
Date Deposited: 07 Sep 2011 16:35
Additional Information:

EMK-spezifische Daten:

Lagerort Dokument: Archiv EMK, Kontakt über Sekretariate,

Bibliotheks-Sigel: 17/24 EMKS 1486

Art der Arbeit: Studienarbeit

Beginn Datum: 18-12-2000

Ende Datum: 12-10-2001

Querverweis: 17/24 EMKD 1492

Studiengang: Elektrotechnik und Informationstechnik (ETiT)

Vertiefungsrichtung: Mikro- und Feinwerktechnik (MFT)

Abschluss: Diplom (MFT)

Identification Number: 17/24 EMKS 1486
Referees: Stavroulis, Dipl.-Ing. Stefanos and Werthschützky, Prof. Dr.- Roland
Related URLs:
Export:

Optionen (nur für Redakteure)

View Item View Item