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Zusammenfassung:

Mikromechanische Bauteile (maximales Volumen 2mm³) sollen optisch mit dem sogenannten Depth-from-focus - Verfahren vermessen werden. Dabei werden mit einer auf einem Mikroroboter montierten Mikroskopkamera Bilder verschiedener Fokusebenen aufgenommen und ausgewertet. In der vorliegenden Arbeit ist für diese Kamera ein Beleuchtungskonzept entwickelt und aufgebaut worden. Die Beleuchtung ermöglicht es, feinste Oberflächenstrukturen unabhängig von den optischen Oberflächeneigenschaften der Mikrobauteile sichtbar zu machen und vermeidet spiegelnde Reflexionen, die den CCD-Chip der Mikroskopkamera übersteuern können. Mit einem aus zwölf lichtstarken Leuchtdioden (3000 mcd) bestehenden Leuchtring, der sowohl in der Höhe als auch im Anleuchtungswinkel verstellbar ist, ist das theoretisch hergeleitete Beleuchtungskonzept in die Praxis umgesetzt und erprobt worden. Für sehr glatte Oberflächen, die keine oder nur eine sehr geringe Oberflächenstruktur besitzen, sind verschiedene Möglichkeiten, künstlich Oberflächenstrukturen zu erzeugen ohne die Messergebnisse zu verfälschen, untersucht worden.

Technische Daten:

* Anleuchtungswinkel: 30°-90°

* Lichtquellen: 12

* lichtstarke Leuchtdioden I=3 cd

* max. Durchmesser Objektiv: 25mm

EMK-spezifische Daten:

Lagerort Dokument: Archiv EMK, Kontakt über Sekretariate,

Bibliotheks-Sigel: 17/24 EMKD 1329

Art der Arbeit: Diplomarbeit

Beginn Datum: 15-05-1996

Ende Datum: 20-08-1996

Querverweis: 17/24 EMKS 1238

Studiengang: Elektrotechnik (ET)

Vertiefungsrichtung: Elektromechanische Konstruktionen (Dipl.)

Abschluss: Diplom (EMK)