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Verfahren zur Abstandsmessung zwischen einer Greiferspitze und mikromechanischen Bauelementen

Gersdorff, Nicolas von (1995):
Verfahren zur Abstandsmessung zwischen einer Greiferspitze und mikromechanischen Bauelementen.
Technische Universität Darmstadt,
[Seminar paper (Midterm)]

Abstract

Zusammenfassung:

Die vorliegende Studienarbeit beschreibt die Entwicklung eines Meßsystems, das den Abstand zwischen einer Greiferspitze und einem aufzunehmenden mikromechanischen Bauteil ermittelt. Eine umfangreiche Untersuchung der in der Technik verwendeten Verfahren berührungsloser Abstandsmessung erbrachte das Ergebnis, dass sich das Autofokusverfahren für diese Anwendung besonders gut eignet, da es eine hochauflösende Abstandsmessung von sehr kleinen Flächen ermöglicht. Die Tatsache, daß hochpräzise Autofokusoptiken in CD-Playern Verwendung finden, führte zu der interessanten Fragestellung, ob sich ein solch kompaktes Bauteil als optisches Element eines Autofokus-Meßsystems einsetzen läßt.

Anhand eines Prototyps wurden nach Aufbau der elektronischen Fokusregelung verschiedene Versuchsreihen durchgeführt.

Technische Daten:

* Lichtquelle: Laserdiode, mit λ=780nm, 2mW

* Optik: SONY "optical pick-up block" Kss 320

* Meßbereich: 2,8mm + 0,6mm

* Auflösung: 1,5µm

* Genauigkeit: ±3µm

* Linearitätsabweichung: 4%

Item Type: Seminar paper (Midterm)
Erschienen: 1995
Creators: Gersdorff, Nicolas von
Title: Verfahren zur Abstandsmessung zwischen einer Greiferspitze und mikromechanischen Bauelementen
Language: German
Abstract:

Zusammenfassung:

Die vorliegende Studienarbeit beschreibt die Entwicklung eines Meßsystems, das den Abstand zwischen einer Greiferspitze und einem aufzunehmenden mikromechanischen Bauteil ermittelt. Eine umfangreiche Untersuchung der in der Technik verwendeten Verfahren berührungsloser Abstandsmessung erbrachte das Ergebnis, dass sich das Autofokusverfahren für diese Anwendung besonders gut eignet, da es eine hochauflösende Abstandsmessung von sehr kleinen Flächen ermöglicht. Die Tatsache, daß hochpräzise Autofokusoptiken in CD-Playern Verwendung finden, führte zu der interessanten Fragestellung, ob sich ein solch kompaktes Bauteil als optisches Element eines Autofokus-Meßsystems einsetzen läßt.

Anhand eines Prototyps wurden nach Aufbau der elektronischen Fokusregelung verschiedene Versuchsreihen durchgeführt.

Technische Daten:

* Lichtquelle: Laserdiode, mit λ=780nm, 2mW

* Optik: SONY "optical pick-up block" Kss 320

* Meßbereich: 2,8mm + 0,6mm

* Auflösung: 1,5µm

* Genauigkeit: ±3µm

* Linearitätsabweichung: 4%

Uncontrolled Keywords: Elektromechanische Konstruktionen, Mikro- und Feinwerktechnik, Autofokus aktiv, Entfernungsmessung, Wegmessung optisch, Wegmessung Prinzipien
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design (dissolved 18.12.2018)
Date Deposited: 04 Oct 2011 10:51
Additional Information:

EMK-spezifische Daten:

Lagerort Dokument: Archiv EMK, Kontakt über Sekretariate,

Bibliotheks-Sigel: 17/24 EMKS 1245

Art der Arbeit: Studienarbeit

Beginn Datum: 14-11-1994

Ende Datum: 08-08-1995

Querverweis: 17/24 EMKS 1181

Studiengang: Elektrotechnik (ET)

Vertiefungsrichtung: Elektromechanische Konstruktionen (Dipl.)

Abschluss: Diplom (EMK)

Identification Number: 17/24 EMKS 1245
Referees: Kunstmann, Dipl.-Ing. Christian and Weißmantel, Prof. Dr.- Heinz
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