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Beleuchtung für Vakuumgreifer

Fricke, Conrad (1993):
Beleuchtung für Vakuumgreifer.
Technische Universität Darmstadt, [Seminar paper (Midterm)]

Abstract

Zusammenfassung:

In der vorliegenden Studienarbeit wurde ein Vakuumgreifer mit integrierter Optik und radialer Positioniereinrichtung zur Handhabung von mikromechanischen Bauelementen realisiert. Leuchtdioden beleuchten die Oberfläche eines Bauelements, welches gegen eine transparente und maskierte Siebstruktur gesaugt wird. Eine CCD- Kamera mit einem Mikroskopobjektiv ermöglicht die Lokalisierung von Passmarken auf dem Bauelement und damit eine Positionierung des gesamten Systems. Die Drehung geschieht direkt durch einen Schrittmotor. Auf einem Kreuztisch montiert ist dieser Greifer ein System, das eine automatisierte und zerstörungsfreie Handhabung von mikromechanischen Bauelementen ermöglicht.

Technische Daten:

* Vergrößerung: 50fach bis 180fach

* Optische Auflösung: kleiner als 6µm

* Größe: 120*100*180mm (L,B,H)

* Radialantrieb: 2-Phasen-Schrittmotor

* Radiale Positioniergenauigkeit: 0,1°

* Unterdruck: 5Pa bis 2000Pa

Item Type: Seminar paper (Midterm)
Erschienen: 1993
Creators: Fricke, Conrad
Title: Beleuchtung für Vakuumgreifer
Language: German
Abstract:

Zusammenfassung:

In der vorliegenden Studienarbeit wurde ein Vakuumgreifer mit integrierter Optik und radialer Positioniereinrichtung zur Handhabung von mikromechanischen Bauelementen realisiert. Leuchtdioden beleuchten die Oberfläche eines Bauelements, welches gegen eine transparente und maskierte Siebstruktur gesaugt wird. Eine CCD- Kamera mit einem Mikroskopobjektiv ermöglicht die Lokalisierung von Passmarken auf dem Bauelement und damit eine Positionierung des gesamten Systems. Die Drehung geschieht direkt durch einen Schrittmotor. Auf einem Kreuztisch montiert ist dieser Greifer ein System, das eine automatisierte und zerstörungsfreie Handhabung von mikromechanischen Bauelementen ermöglicht.

Technische Daten:

* Vergrößerung: 50fach bis 180fach

* Optische Auflösung: kleiner als 6µm

* Größe: 120*100*180mm (L,B,H)

* Radialantrieb: 2-Phasen-Schrittmotor

* Radiale Positioniergenauigkeit: 0,1°

* Unterdruck: 5Pa bis 2000Pa

Uncontrolled Keywords: Elektromechanische Konstruktionen, Mikro- und Feinwerktechnik, CCD-Kamera, Handhabung mikromechanischer Bauteile, Mikroskop-Objektiv, Positionierung µm-Bereich, Vakuumgreifer
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design
Date Deposited: 17 Oct 2011 13:24
Additional Information:

EMK-spezifische Daten:

Lagerort Dokument: Archiv EMK, Kontakt über Sekretariate,

Bibliotheks-Sigel: 17/24 EMKS 1087

Art der Arbeit: Studienarbeit

Beginn Datum: 16-11-1992

Ende Datum: 02-11-1993

Querverweis: keiner

Studiengang: Elektrotechnik (ET)

Vertiefungsrichtung: Elektromechanische Konstruktionen (EMK)

Abschluss: Diplom (EMK)

Identification Number: 17/24 EMKS 1087
Referees: Henschke, Dipl.-Ing. Felix and Cramer, Prof. Dr.- Bernhard
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