Schmeckenbecher, Thomas (1993)
Konzept für einen Montageplatz mikromechanischer Bauelemente.
Technische Universität Darmstadt
Studienarbeit, Bibliographie
Kurzbeschreibung (Abstract)
Zusammenfassung:
Durch die immer ausgereifteren Strukturierungs-, Ätz- und Verbindungsverfahren steigt die Notwendigkeit eines universellen Montageplatzes, an dem mikromechanische Bauelemente manuell und/oder halb- bzw. vollautomatisch montiert werden können. Die vorliegende Arbeit versucht, dafür ein Konzept zu entwickeln.
Dabei werden technische Gebiete wie Feinwerktechnik, Halbleitertechnik, Leiterplattentechnik, Mikrochirurgie, Dickschichttechnologie und Uhrentechnologie auf ihre Anwendbarkeit bei der Herstellung mikromechanischer Bauelemente untersucht. Insbesondere der Umgang mit kleinen Teilen und ihre Montage sowie die Herstellung kleiner Strukturen stehen im Mittelpunkt dieser Arbeit.
Aus den Ergebnissen dieser Analyse kann festgestellt werden, daß die Montage der mikromechanischen Bauelemente nicht mehr nur die mechanische Montage im herkömmlichen Sinne impliziert, sondern weitgehend in eine chemische Montage übergeht. Darunter wird beispielsweise der Schichtaufbau bzw. die (Unter-) Ätzung der Strukturen durch chemische Reaktionen verstanden.
| Typ des Eintrags: | Studienarbeit |
|---|---|
| Erschienen: | 1993 |
| Autor(en): | Schmeckenbecher, Thomas |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Konzept für einen Montageplatz mikromechanischer Bauelemente |
| Sprache: | Deutsch |
| Referenten: | Henschke, Dipl.-Ing. Felix ; Weißmantel, Prof. Dr.- Heinz |
| Publikationsjahr: | 2 November 1993 |
| Zugehörige Links: | |
| Kurzbeschreibung (Abstract): | Zusammenfassung: Durch die immer ausgereifteren Strukturierungs-, Ätz- und Verbindungsverfahren steigt die Notwendigkeit eines universellen Montageplatzes, an dem mikromechanische Bauelemente manuell und/oder halb- bzw. vollautomatisch montiert werden können. Die vorliegende Arbeit versucht, dafür ein Konzept zu entwickeln. Dabei werden technische Gebiete wie Feinwerktechnik, Halbleitertechnik, Leiterplattentechnik, Mikrochirurgie, Dickschichttechnologie und Uhrentechnologie auf ihre Anwendbarkeit bei der Herstellung mikromechanischer Bauelemente untersucht. Insbesondere der Umgang mit kleinen Teilen und ihre Montage sowie die Herstellung kleiner Strukturen stehen im Mittelpunkt dieser Arbeit. Aus den Ergebnissen dieser Analyse kann festgestellt werden, daß die Montage der mikromechanischen Bauelemente nicht mehr nur die mechanische Montage im herkömmlichen Sinne impliziert, sondern weitgehend in eine chemische Montage übergeht. Darunter wird beispielsweise der Schichtaufbau bzw. die (Unter-) Ätzung der Strukturen durch chemische Reaktionen verstanden. |
| Freie Schlagworte: | Elektromechanische Konstruktionen, Mikro- und Feinwerktechnik, Dickschichttechnologie, Halbleiterprozesse Einstieg, Handhabung mikromechanischer Bauteile, Montageplatzgestaltung |
| ID-Nummer: | 17/24 EMKS 1070 |
| Zusätzliche Informationen: | EMK-spezifische Daten: Lagerort Dokument: Archiv EMK, Kontakt über Sekretariate, Bibliotheks-Sigel: 17/24 EMKS 1070 Art der Arbeit: Studienarbeit Beginn Datum: 06-07-1992 Ende Datum: 02-11-1993 Querverweis: keiner Studiengang: Elektrotechnik (ET) Vertiefungsrichtung: Elektromechanische Konstruktionen (EMK) Abschluss: Diplom (EMK) |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018) |
| Hinterlegungsdatum: | 17 Okt 2011 13:15 |
| Letzte Änderung: | 05 Mär 2013 09:52 |
| PPN: | |
| Referenten: | Henschke, Dipl.-Ing. Felix ; Weißmantel, Prof. Dr.- Heinz |
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