Hartmann, Franz (1990)
Möglichkeiten von Greifen und Halten mikromechanischer Bauelemente.
Technische Universität Darmstadt
Diplom- oder Magisterarbeit, Bibliographie
Kurzbeschreibung (Abstract)
Zusammenfassung:
Durch die Entwicklungen in der Mikroelektronik sind auch die Möglichkeiten zur Herstellung mikromechanischer Bauelemente stark erweitert worden. In der Regel ist die Montage solcher Bauteile nach deren Fertigungsprozeß unerläßlich. Eine besondere Rolle spielt dabei das Greifen und Festhalten dieser Objekte, da sie naturgemäß sehr klein und empfindlich sind.
Welche Möglichkeiten hierzu - unter Berücksichtigung der besonderen Eigenschaften mikromechanischer Bauelemente - zur Verfügung stehen, versucht diese Diplomarbeit aufzuklären. Verschiedene physikalische Feldkräfte, mit denen Einfluß auf Bauteile genommen werden kann, werden mit ihren Größenordnungen und ihrem Für und Wider erörtert.
Zur Erzeugung kraftschlüssiger Halteverbindungen werden anhand des Pinzettenprinzips verschiedene Varianten vorgeschlagen und ihre Vor- und Nachteile beschrieben. Im Zusammenhang mit stoffschlüssigen Verbindungen werden adhäsive Greifverfahren und das damit einhergehende Problem des Wiederablösens der Bauelemente besprochen. Berücksichtigt werden Verfahren, welche das Aufschmelzen eines auf den Bauteilen befindlichen Schutzüberzuges ausnutzen. Als weitere Variante wird diskutiert, wie sich die an oxidierten Siliciumoberflächen möglichen Wasserstoffbrückenbindungen mit Wasser oder Alkohol als Hilfsstoff ausnutzen lassen.
| Typ des Eintrags: | Diplom- oder Magisterarbeit |
|---|---|
| Erschienen: | 1990 |
| Autor(en): | Hartmann, Franz |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Möglichkeiten von Greifen und Halten mikromechanischer Bauelemente |
| Sprache: | Deutsch |
| Referenten: | Henschke, Dipl.-Ing. Felix ; Weißmantel, Prof. Dr.- Heinz |
| Publikationsjahr: | 1 März 1990 |
| Zugehörige Links: | |
| Kurzbeschreibung (Abstract): | Zusammenfassung: Durch die Entwicklungen in der Mikroelektronik sind auch die Möglichkeiten zur Herstellung mikromechanischer Bauelemente stark erweitert worden. In der Regel ist die Montage solcher Bauteile nach deren Fertigungsprozeß unerläßlich. Eine besondere Rolle spielt dabei das Greifen und Festhalten dieser Objekte, da sie naturgemäß sehr klein und empfindlich sind. Welche Möglichkeiten hierzu - unter Berücksichtigung der besonderen Eigenschaften mikromechanischer Bauelemente - zur Verfügung stehen, versucht diese Diplomarbeit aufzuklären. Verschiedene physikalische Feldkräfte, mit denen Einfluß auf Bauteile genommen werden kann, werden mit ihren Größenordnungen und ihrem Für und Wider erörtert. Zur Erzeugung kraftschlüssiger Halteverbindungen werden anhand des Pinzettenprinzips verschiedene Varianten vorgeschlagen und ihre Vor- und Nachteile beschrieben. Im Zusammenhang mit stoffschlüssigen Verbindungen werden adhäsive Greifverfahren und das damit einhergehende Problem des Wiederablösens der Bauelemente besprochen. Berücksichtigt werden Verfahren, welche das Aufschmelzen eines auf den Bauteilen befindlichen Schutzüberzuges ausnutzen. Als weitere Variante wird diskutiert, wie sich die an oxidierten Siliciumoberflächen möglichen Wasserstoffbrückenbindungen mit Wasser oder Alkohol als Hilfsstoff ausnutzen lassen. |
| Freie Schlagworte: | Elektromechanische Konstruktionen, Mikro- und Feinwerktechnik, Greifen kraftschlüssig, Greifen stoffschlüssig, Greifer mikromechanischer Bauteile, Halten mikromechanischer Bauteile |
| ID-Nummer: | 17/24 EMKD 959 |
| Zusätzliche Informationen: | EMK-spezifische Daten: Lagerort Dokument: Archiv EMK, Kontakt über Sekretariate, Bibliotheks-Sigel: 17/24 EMKD 959 Art der Arbeit: Diplomarbeit Beginn Datum: 19-11-1990 Ende Datum: 01-03-1991 Querverweis: keiner Studiengang: Elektrotechnik (ET) Vertiefungsrichtung: Elektromechanische Konstruktionen (EMK) Abschluss: Diplom (EMK) |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018) |
| Hinterlegungsdatum: | 22 Okt 2011 10:56 |
| Letzte Änderung: | 05 Mär 2013 09:52 |
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| Referenten: | Henschke, Dipl.-Ing. Felix ; Weißmantel, Prof. Dr.- Heinz |
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