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Zusammenfassung:

Für die Fertigung von Halbleiterbauelementen an den Grenzen technologisch beherrschbarer Verfahren gewinnt die Prozeßüberwachung zunehmend an Bedeutung. Ihre Meßverfahren sind als "Istwertaufnehmer eines Qualitätsregelkreises" zu verstehen. Das Spreading-Resistence-Meßverfahren, bietet die Möglichkeit, Dotierstoffverteilungen, die sich aus den vollzogenen Prozessen (Diffusions-, Epitaxie-, Implantations- und Oxidationsprozesse) ergeben, über Messen und Auswerten des spezifischen Widerstandes zu bestimmen.

In der vorliegenden Arbeit wird kurz das Spreading-Resistance-Meßverfahren sowie der Spreading-Resistance-Meßplatz skizziert. Dabei wird erkennbar, daß eine Konstante und reproduzierbare Andruckkraft von erheblicher Relevanz für die Präzision des Meßverfahrens ist. Für den notwendigen Kraftregelmechanismus wurden die einzelnen Komponenten entwickelt:

Mechanismus zur Feinabsenkung: Als Führungselemente werden gewellte Membranfedern aus Hart-PVC (Dicke: 360µm) verwendet, deren Herstellung mit technologisch einfachen Mitteln beschrieben wird. Die Absenkkraft wird mit Hilfe eines Tauchanker-I-Magneten mit konischem Anker erzeugt, dessen Kraft-Weg-Kennlinie mit einem selbstentwickelten Programm auf Linearität optimiert wurde. Hubweg > 1,1mm (bei 100% Einschaltdauer).

Kapazitiver Kraftaufnehmer: Parallelführung und Gegenkrafterzeugung mit gewellten Messing Membranfedern.

Meßbereich: 10mN bis 3N. Zur Justage der Meßspitzen des Meßplatzes wurde ein Mechanismus entwickelt, der es erlaubt diese im Abstand zueinander (±1mm) zu justieren und auf eine Linie zu bringen (360 Grad).

EMK-spezifische Daten:

Lagerort Dokument: Archiv EMK, Kontakt über Sekretariate,

Bibliotheks-Sigel: 17/24 EMKS 778

Art der Arbeit: Studienarbeit

Beginn Datum: 18-05-1987

Ende Datum: 22-07-1988

Querverweis: 17/24 EMKS 450, Projektseminar PEM1, P16 W88, Projektseminar PEM1, P22 W88

Studiengang: Elektrotechnik (ET)

Vertiefungsrichtung: Elektromechanische Konstruktionen (EMK)

Abschluss: Diplom (EMK)