Klein, Sylke ; Hahn, Horst ; Balogh, Adam G. ; Rück, D. M. ; Baumann, H. ; Michelmann, Rolf W. (1995)
Amorphisation of (100) oriented silicon by self implantation.
In: Jahresbericht / Institut für Kernphysik der Johann Wolfgang Goethe-Universität
Artikel, Bibliographie
Typ des Eintrags: | Artikel |
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Erschienen: | 1995 |
Autor(en): | Klein, Sylke ; Hahn, Horst ; Balogh, Adam G. ; Rück, D. M. ; Baumann, H. ; Michelmann, Rolf W. |
Art des Eintrags: | Bibliographie |
Titel: | Amorphisation of (100) oriented silicon by self implantation |
Sprache: | Englisch |
Publikationsjahr: | 1995 |
Ort: | Frankfurt am Main |
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Jahresbericht / Institut für Kernphysik der Johann Wolfgang Goethe-Universität |
Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Fachbereich Materialwissenschaft (1999 aufgegangen in 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften) |
Hinterlegungsdatum: | 19 Nov 2008 16:00 |
Letzte Änderung: | 16 Apr 2024 07:24 |
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