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Amorphisation of (100) oriented silicon by self implantation

Klein, Sylke ; Hahn, Horst ; Balogh, Adam G. ; Rück, D. M. ; Baumann, H. ; Michelmann, Rolf W. (1995)
Amorphisation of (100) oriented silicon by self implantation.
In: Jahresbericht / Institut für Kernphysik der Johann Wolfgang Goethe-Universität
Artikel, Bibliographie

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 1995
Autor(en): Klein, Sylke ; Hahn, Horst ; Balogh, Adam G. ; Rück, D. M. ; Baumann, H. ; Michelmann, Rolf W.
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Amorphisation of (100) oriented silicon by self implantation
Sprache: Englisch
Publikationsjahr: 1995
Ort: Frankfurt am Main
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: Jahresbericht / Institut für Kernphysik der Johann Wolfgang Goethe-Universität
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften
11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Fachbereich Materialwissenschaft (1999 aufgegangen in 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften)
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:00
Letzte Änderung: 16 Apr 2024 07:24
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