Schneider, Jörg J. ; Hoffmann, Rudolf C. ; Issanin, Alexander ; Dilfer, Stefan (2011)
Zirconia and hafnia films from single source molecular precursor compounds: Synthesis, characterization and insulating properties of potential high k-dielectrics.
In: Materials Science and Engineering B , 176 (13)
doi: 10.1016/j.mseb.2011.05.024
Artikel, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 2011 |
| Autor(en): | Schneider, Jörg J. ; Hoffmann, Rudolf C. ; Issanin, Alexander ; Dilfer, Stefan |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Zirconia and hafnia films from single source molecular precursor compounds: Synthesis, characterization and insulating properties of potential high k-dielectrics |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 15 August 2011 |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Materials Science and Engineering B |
| Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: | 176 |
| (Heft-)Nummer: | 13 |
| DOI: | 10.1016/j.mseb.2011.05.024 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft > Fachgebiet Oberflächenforschung 16 Fachbereich Maschinenbau 16 Fachbereich Maschinenbau > Institut für Druckmaschinen und Druckverfahren (IDD) |
| Hinterlegungsdatum: | 15 Jul 2011 07:04 |
| Letzte Änderung: | 26 Mär 2015 09:55 |
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