Lang, Markus (1996)
An acceleration sensor in CMOS-compatible technology for integration in complex systems.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
|---|---|
| Erschienen: | 1996 |
| Autor(en): | Lang, Markus |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | An acceleration sensor in CMOS-compatible technology for integration in complex systems |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 1996 |
| Reihe: | Micromechanics Europe MME '96 <1996, Barcelona>: Proceedings |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Hinterlegungsdatum: | 19 Nov 2008 16:00 |
| Letzte Änderung: | 26 Aug 2018 21:21 |
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