Kober, Timo ; Werthschützky, Roland (2010)
Mikromechanischer Überlastschutz für Drucksensoren durch strukturierte Gegenlager aus Glas.
Sensoren und Messsysteme 2010; Vorträge der 15. ITG/GMA-Fachtagung. Nürnberg (18.05.2010-19.05.2010)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
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Erschienen: | 2010 |
Autor(en): | Kober, Timo ; Werthschützky, Roland |
Art des Eintrags: | Bibliographie |
Titel: | Mikromechanischer Überlastschutz für Drucksensoren durch strukturierte Gegenlager aus Glas |
Sprache: | Deutsch |
Publikationsjahr: | 18 Mai 2010 |
Veranstaltungstitel: | Sensoren und Messsysteme 2010; Vorträge der 15. ITG/GMA-Fachtagung |
Veranstaltungsort: | Nürnberg |
Veranstaltungsdatum: | 18.05.2010-19.05.2010 |
Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mess- und Sensortechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018) 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik |
Hinterlegungsdatum: | 02 Nov 2010 15:22 |
Letzte Änderung: | 05 Mär 2013 09:41 |
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