Greiner, F. ; Schlaak, Helmut F. ; Tschulena, G. ; Korb, W. (2009)
Mikro-Nano-Integration - Einsatz von Nanotechnologie in der Mikrosystemtechnik.
In: Schriftenreihe der Aktionslinie Hessen-Nanotech des Hessischen Ministeriums für Wirtschaft, Verkehr und Landesentwicklung., 13 (1)
Artikel, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 2009 |
| Autor(en): | Greiner, F. ; Schlaak, Helmut F. ; Tschulena, G. ; Korb, W. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Mikro-Nano-Integration - Einsatz von Nanotechnologie in der Mikrosystemtechnik. |
| Sprache: | Deutsch |
| Publikationsjahr: | 20 August 2009 |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Schriftenreihe der Aktionslinie Hessen-Nanotech des Hessischen Ministeriums für Wirtschaft, Verkehr und Landesentwicklung. |
| Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: | 13 |
| (Heft-)Nummer: | 1 |
| URL / URN: | http://www.hessen-nanotech.de/mm/Broschuere_Mikro-Nano-Integ... |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018) 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Hinterlegungsdatum: | 20 Aug 2010 15:11 |
| Letzte Änderung: | 19 Apr 2016 08:21 |
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