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Chemische Charakterisierung von Bor- und Siliziumcarbonitridschichten: Bestimmung der chemischen Bindungen mittels TXRF-NEXAFS und XPS

Baake, Olaf (2010):
Chemische Charakterisierung von Bor- und Siliziumcarbonitridschichten: Bestimmung der chemischen Bindungen mittels TXRF-NEXAFS und XPS.
Saarbrücken, Südwestdeutscher Verlag für Hochschulschriften, ISBN 978-3838115337,
[Book]

Item Type: Book
Erschienen: 2010
Creators: Baake, Olaf
Title: Chemische Charakterisierung von Bor- und Siliziumcarbonitridschichten: Bestimmung der chemischen Bindungen mittels TXRF-NEXAFS und XPS
Language: German
Place of Publication: Saarbrücken
Publisher: Südwestdeutscher Verlag für Hochschulschriften
ISBN: 978-3838115337
Divisions: 11 Department of Materials and Earth Sciences > Material Science > Material Analytics
11 Department of Materials and Earth Sciences > Material Science
11 Department of Materials and Earth Sciences
Date Deposited: 07 May 2010 13:13
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