Bubel, Simon (2009)
Feldeffekttransistoren aus nanopartikulärem Zinkoxid.
Technische Universität Darmstadt
Dissertation, Erstveröffentlichung
Kurzbeschreibung (Abstract)
Um druckbare elektrische Schaltungen herzustellen, wird ein flüssiges Ausgangsmaterial benötigt, das bei niedrigen Temperaturen zu halbleitenden Dünnschichten verarbeitet werden kann. Als ein möglicher Kandidat gelten anorganische nanopartikuläre Halbleiterdispersionen, da sie die Vorteile der anorganischen Halbleiter, wie atmosphärische Stabilität und hohe Ladungsträgerbeweglichkeiten, mit den günstigen Produktionsverfahren der Drucktechnik verbinden. In dieser Arbeit wurden Zinkoxid Nanopartikel in einem Modellprozess zu einer aktiven Halbleiterschicht in funktionsfähigen Feldeffekttransistoren mit einer Feldeffekt-Beweglichkeit von 2·10^-3 cm^2/Vs verarbeitet. Als wesentliche Eigenschaften, welche die Schaltgeschwindigkeit und das An-/Aus-Verhältnis der Transistoren bestimmen, wurden Grenzschichtrauheit, der interpartikuläre Widerstand und die ZnO Oberflächendefekte identifiziert und gezielt verändert, um deren Beeinflussung über den Herstellungsprozess zu studieren. In diesem Zusammenhang konnte gezeigt werden, dass der Stabilisator und sein Anteil in der Dispersion und in der Dünnschicht, die relevanten Eigenschaften des FET hauptsächlich verändern. Der Stabilisator wirkt nicht nur auf die Agglomeratgrößenverteilung in der Dispersion, sondern auch auf die thermische Ladungsträgerkonzentration in der halbleitenden Dünnschicht. Für die Optimierung der Halbleiterschicht zur Verwendung in Feldeffekttransistoren wurde ein Stabilisator vorgeschlagen, der neben einer guten Leitfähigkeit eine starke chemische Wechselwirkung mit den Zinkvalenzen in der ZnO Partikeloberfläche aufweist. Dieser erhöht nicht nur die FET-Beweglichkeit und das An-/Aus-Verhältnis, sondern auch die atmosphärische Stabilität der nanopartikulären ZnO Dünnschichten.
Typ des Eintrags: | Dissertation | ||||
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Erschienen: | 2009 | ||||
Autor(en): | Bubel, Simon | ||||
Art des Eintrags: | Erstveröffentlichung | ||||
Titel: | Feldeffekttransistoren aus nanopartikulärem Zinkoxid | ||||
Sprache: | Deutsch | ||||
Referenten: | Hahn, Prof. Dr.- Horst ; Seggern von, Prof. Dr.- Heinz | ||||
Publikationsjahr: | 25 Oktober 2009 | ||||
Datum der mündlichen Prüfung: | 27 August 2009 | ||||
URL / URN: | urn:nbn:de:tuda-tuprints-19376 | ||||
Kurzbeschreibung (Abstract): | Um druckbare elektrische Schaltungen herzustellen, wird ein flüssiges Ausgangsmaterial benötigt, das bei niedrigen Temperaturen zu halbleitenden Dünnschichten verarbeitet werden kann. Als ein möglicher Kandidat gelten anorganische nanopartikuläre Halbleiterdispersionen, da sie die Vorteile der anorganischen Halbleiter, wie atmosphärische Stabilität und hohe Ladungsträgerbeweglichkeiten, mit den günstigen Produktionsverfahren der Drucktechnik verbinden. In dieser Arbeit wurden Zinkoxid Nanopartikel in einem Modellprozess zu einer aktiven Halbleiterschicht in funktionsfähigen Feldeffekttransistoren mit einer Feldeffekt-Beweglichkeit von 2·10^-3 cm^2/Vs verarbeitet. Als wesentliche Eigenschaften, welche die Schaltgeschwindigkeit und das An-/Aus-Verhältnis der Transistoren bestimmen, wurden Grenzschichtrauheit, der interpartikuläre Widerstand und die ZnO Oberflächendefekte identifiziert und gezielt verändert, um deren Beeinflussung über den Herstellungsprozess zu studieren. In diesem Zusammenhang konnte gezeigt werden, dass der Stabilisator und sein Anteil in der Dispersion und in der Dünnschicht, die relevanten Eigenschaften des FET hauptsächlich verändern. Der Stabilisator wirkt nicht nur auf die Agglomeratgrößenverteilung in der Dispersion, sondern auch auf die thermische Ladungsträgerkonzentration in der halbleitenden Dünnschicht. Für die Optimierung der Halbleiterschicht zur Verwendung in Feldeffekttransistoren wurde ein Stabilisator vorgeschlagen, der neben einer guten Leitfähigkeit eine starke chemische Wechselwirkung mit den Zinkvalenzen in der ZnO Partikeloberfläche aufweist. Dieser erhöht nicht nur die FET-Beweglichkeit und das An-/Aus-Verhältnis, sondern auch die atmosphärische Stabilität der nanopartikulären ZnO Dünnschichten. |
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Alternatives oder übersetztes Abstract: |
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Freie Schlagworte: | FET, TFT, ZnO, Zinkoxid, druckbare Elektronik, anorganische Nanopartikel | ||||
Sachgruppe der Dewey Dezimalklassifikatin (DDC): | 600 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften > 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau | ||||
Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften |
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Hinterlegungsdatum: | 28 Okt 2009 11:55 | ||||
Letzte Änderung: | 05 Mär 2013 09:28 | ||||
PPN: | |||||
Referenten: | Hahn, Prof. Dr.- Horst ; Seggern von, Prof. Dr.- Heinz | ||||
Datum der mündlichen Prüfung / Verteidigung / mdl. Prüfung: | 27 August 2009 | ||||
Export: | |||||
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