Schafranek, Robert (2009)
Kathodenzerstäubte(Ba,Sr)TiO3-Dünnschichten für steuerbare Mikrowellenkomponenten Material-, Bauteil- und Grenzflächeneigenschaften.
Technische Universität Darmstadt
Dissertation, Erstveröffentlichung
Kurzbeschreibung (Abstract)
In dieser Arbeit wurde der Einfluss der Präparationsbedingen auf die Zusammensetzung, Struktur und die elektronischen Eigenschaften von kathodenzerstäubten (Ba,Sr)TiO3 Dünnschichten untersucht und mit den Bauteileigenschaften von auf diesen Schichten aufbauenden Varaktoren in Metall/Isolator/Metall-Topographie in Zusammenhang gebracht. Des Weiteren wurden die bauteilrelevanten Kontakteigenschaften zwischen Dielektrikum und Metallisierung mittels in-situ Photoelektronenspektroskopie untersucht. Hierbei wurde eine starke Abhängigkeit der Schottky-Barrierenhöhe von der Grenzflächendefektkonzentration am Kontakt gefunden und die Defekte Sauerstoffleerstellen zugeordnet.
| Typ des Eintrags: | Dissertation | ||||
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| Erschienen: | 2009 | ||||
| Autor(en): | Schafranek, Robert | ||||
| Art des Eintrags: | Erstveröffentlichung | ||||
| Titel: | Kathodenzerstäubte(Ba,Sr)TiO3-Dünnschichten für steuerbare Mikrowellenkomponenten Material-, Bauteil- und Grenzflächeneigenschaften | ||||
| Sprache: | Deutsch | ||||
| Referenten: | Klein, APL Prof. Andreas ; Alff, Prof. Dr. Lambert | ||||
| Publikationsjahr: | 6 August 2009 | ||||
| Ort: | Darmstadt | ||||
| Verlag: | Technische Universität | ||||
| Datum der mündlichen Prüfung: | 15 Mai 2009 | ||||
| URL / URN: | urn:nbn:de:tuda-tuprints-18739 | ||||
| Kurzbeschreibung (Abstract): | In dieser Arbeit wurde der Einfluss der Präparationsbedingen auf die Zusammensetzung, Struktur und die elektronischen Eigenschaften von kathodenzerstäubten (Ba,Sr)TiO3 Dünnschichten untersucht und mit den Bauteileigenschaften von auf diesen Schichten aufbauenden Varaktoren in Metall/Isolator/Metall-Topographie in Zusammenhang gebracht. Des Weiteren wurden die bauteilrelevanten Kontakteigenschaften zwischen Dielektrikum und Metallisierung mittels in-situ Photoelektronenspektroskopie untersucht. Hierbei wurde eine starke Abhängigkeit der Schottky-Barrierenhöhe von der Grenzflächendefektkonzentration am Kontakt gefunden und die Defekte Sauerstoffleerstellen zugeordnet. |
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| Alternatives oder übersetztes Abstract: |
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| Sachgruppe der Dewey Dezimalklassifikatin (DDC): | 500 Naturwissenschaften und Mathematik > 500 Naturwissenschaften 500 Naturwissenschaften und Mathematik > 530 Physik |
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| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft > Fachgebiet Oberflächenforschung 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften |
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| Hinterlegungsdatum: | 09 Sep 2009 07:34 | ||||
| Letzte Änderung: | 05 Mär 2013 09:28 | ||||
| PPN: | |||||
| Referenten: | Klein, APL Prof. Andreas ; Alff, Prof. Dr. Lambert | ||||
| Datum der mündlichen Prüfung / Verteidigung / mdl. Prüfung: | 15 Mai 2009 | ||||
| Export: | |||||
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