Neubeck, Klaus ; Nitsche, ; Hahn, ; Alberts, ; Wolf, ; Friz,
:
Ion beam assisted deposition of ZrO2 thin films.
In:
Nuclear instruments and methods in physics research. B 106 (1995), S. 110-115
[Artikel], (1995)
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 1995 |
| Autor(en): | Neubeck, Klaus ; Nitsche, ; Hahn, ; Alberts, ; Wolf, ; Friz, |
| Titel: | Ion beam assisted deposition of ZrO2 thin films |
| Sprache: | Englisch |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Nuclear instruments and methods in physics research. B 106 (1995), S. 110-115 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | FB Materialwissenschaft (aufgegangen in FB11) |
| Hinterlegungsdatum: | 19 Nov 2008 15:58 |
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