Neubeck, Klaus ; Nitsche, R. ; Hahn, H. ; Alberts, L. ; Wolf, G. K. ; Friz, M. (1995)
Ion beam assisted deposition of ZrO2 thin films.
In: Nuclear instruments and methods in physics research B, 106 (1-4)
doi: 10.1016/0168-583X(95)00687-7
Artikel, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 1995 |
| Autor(en): | Neubeck, Klaus ; Nitsche, R. ; Hahn, H. ; Alberts, L. ; Wolf, G. K. ; Friz, M. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Ion beam assisted deposition of ZrO2 thin films |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 2 Dezember 1995 |
| Verlag: | Elsevier |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Nuclear instruments and methods in physics research B |
| Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: | 106 |
| (Heft-)Nummer: | 1-4 |
| DOI: | 10.1016/0168-583X(95)00687-7 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Fachbereich Materialwissenschaft (1999 aufgegangen in 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften) |
| Hinterlegungsdatum: | 19 Nov 2008 15:58 |
| Letzte Änderung: | 05 Nov 2021 10:07 |
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