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Ion beam assisted deposition of ZrO2 thin films

Neubeck, Klaus ; Nitsche, ; Hahn, ; Alberts, ; Wolf, ; Friz, :
Ion beam assisted deposition of ZrO2 thin films.
In: Nuclear instruments and methods in physics research. B 106 (1995), S. 110-115
[Artikel], (1995)

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 1995
Autor(en): Neubeck, Klaus ; Nitsche, ; Hahn, ; Alberts, ; Wolf, ; Friz,
Titel: Ion beam assisted deposition of ZrO2 thin films
Sprache: Englisch
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: Nuclear instruments and methods in physics research. B 106 (1995), S. 110-115
Fachbereich(e)/-gebiet(e): FB Materialwissenschaft (aufgegangen in FB11)
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 15:58
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