Urban, J. ; Bräuer, S. ; McKinnon, A. W. ; Horn, J. ; Hjort, K. ; Pagnia, H. ; Koops, H. W. P. ; Hartnagel, H. L. (1995)
The scanning tunneling microscope as a tool for nanolithography: writing nanostructures on Si (110) in air.
In: Microelectronic Engineering, 27 (1/4)
Artikel, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 1995 |
| Autor(en): | Urban, J. ; Bräuer, S. ; McKinnon, A. W. ; Horn, J. ; Hjort, K. ; Pagnia, H. ; Koops, H. W. P. ; Hartnagel, H. L. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | The scanning tunneling microscope as a tool for nanolithography: writing nanostructures on Si (110) in air |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 1995 |
| Verlag: | Elsevier |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Microelectronic Engineering |
| Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: | 27 |
| (Heft-)Nummer: | 1/4 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrowellenelektronik |
| Hinterlegungsdatum: | 19 Nov 2008 15:58 |
| Letzte Änderung: | 26 Apr 2024 09:22 |
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