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Infrared thermopile sensor based on AlGaAs/GaAs micromachining

Dehé, Alfons ; Fricke, ; Hartnagel, :
Infrared thermopile sensor based on AlGaAs/GaAs micromachining.
In: Sensors and actuators. A47 (1995), S. 432-436
[Artikel], (1995)

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 1995
Autor(en): Dehé, Alfons ; Fricke, ; Hartnagel,
Titel: Infrared thermopile sensor based on AlGaAs/GaAs micromachining
Sprache: Englisch
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: Sensors and actuators. A47 (1995), S. 432-436
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 15:58
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