Dehé, Alfons ; Fricke, K. ; Hartnagel, Hans L. (1995)
Infrared thermopile sensor based on AlGaAs/GaAs micromachining.
In: Sensors and Actuators A : Physical, 47 (1/3)
doi: 10.1016/0924-4247(94)00936-C
Artikel, Bibliographie
Typ des Eintrags: | Artikel |
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Erschienen: | 1995 |
Autor(en): | Dehé, Alfons ; Fricke, K. ; Hartnagel, Hans L. |
Art des Eintrags: | Bibliographie |
Titel: | Infrared thermopile sensor based on AlGaAs/GaAs micromachining |
Sprache: | Englisch |
Publikationsjahr: | 1995 |
Verlag: | Elsevier |
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Sensors and Actuators A : Physical |
Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: | 47 |
(Heft-)Nummer: | 1/3 |
DOI: | 10.1016/0924-4247(94)00936-C |
Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrowellenelektronik |
Hinterlegungsdatum: | 19 Nov 2008 15:58 |
Letzte Änderung: | 22 Jul 2024 06:31 |
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