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Infrared thermopile sensor based on AlGaAs/GaAs micromachining

Dehé, Alfons ; Fricke, K. ; Hartnagel, Hans L. (1995)
Infrared thermopile sensor based on AlGaAs/GaAs micromachining.
In: Sensors and Actuators A : Physical, 47 (1/3)
doi: 10.1016/0924-4247(94)00936-C
Artikel, Bibliographie

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 1995
Autor(en): Dehé, Alfons ; Fricke, K. ; Hartnagel, Hans L.
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Infrared thermopile sensor based on AlGaAs/GaAs micromachining
Sprache: Englisch
Publikationsjahr: 1995
Verlag: Elsevier
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: Sensors and Actuators A : Physical
Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: 47
(Heft-)Nummer: 1/3
DOI: 10.1016/0924-4247(94)00936-C
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrowellenelektronik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 15:58
Letzte Änderung: 22 Jul 2024 06:31
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