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Piezoresistive GaAs differential pressure sensor with AlGaAs membrane technology

Dehé, Alfons ; Fricke, ; Mutamba, ; Hartnagel, :
Piezoresistive GaAs differential pressure sensor with AlGaAs membrane technology.
In: Journal of micromechanics and microengineering. 5 (1995), S. 1-4
[Artikel], (1995)

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 1995
Autor(en): Dehé, Alfons ; Fricke, ; Mutamba, ; Hartnagel,
Titel: Piezoresistive GaAs differential pressure sensor with AlGaAs membrane technology
Sprache: Deutsch
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: Journal of micromechanics and microengineering. 5 (1995), S. 1-4
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 15:58
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