Dehé, Alfons ; Fricke, ; Mutamba, ; Hartnagel, (1995)
Piezoresistive GaAs differential pressure sensor with AlGaAs membrane technology.
In: Journal of micromechanics and microengineering. 5 (1995), S. 1-4
Artikel, Bibliographie
Typ des Eintrags: | Artikel |
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Erschienen: | 1995 |
Autor(en): | Dehé, Alfons ; Fricke, ; Mutamba, ; Hartnagel, |
Art des Eintrags: | Bibliographie |
Titel: | Piezoresistive GaAs differential pressure sensor with AlGaAs membrane technology |
Sprache: | Deutsch |
Publikationsjahr: | 1995 |
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Journal of micromechanics and microengineering. 5 (1995), S. 1-4 |
Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrowellenelektronik |
Hinterlegungsdatum: | 19 Nov 2008 15:58 |
Letzte Änderung: | 20 Feb 2020 13:32 |
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