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Galvanoformung von Mikro-Trennmembranen

Wohlgemuth, C. and Werthschützky, Roland (2007):
Galvanoformung von Mikro-Trennmembranen.
In: Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik : GMM-Workshop vom 7. bis 8. Mai in Karlsruhe / Veranstalter: VDE/VDI Gesellschaft Mikroelektronik. Mikro- und Feinwerktechnik (GMM). Wissenschaftl. Leitung des Workshops: Helmut F. Schlaak. - B, Berlin ; Offenbach, VDE, [Conference or Workshop Item]

Item Type: Conference or Workshop Item
Erschienen: 2007
Creators: Wohlgemuth, C. and Werthschützky, Roland
Title: Galvanoformung von Mikro-Trennmembranen
Language: German
Series Name: Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik : GMM-Workshop vom 7. bis 8. Mai in Karlsruhe / Veranstalter: VDE/VDI Gesellschaft Mikroelektronik. Mikro- und Feinwerktechnik (GMM). Wissenschaftl. Leitung des Workshops: Helmut F. Schlaak. - B
Place of Publication: Berlin ; Offenbach
Publisher: VDE
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design > Measurement and Sensor Technology
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design
Date Deposited: 20 Nov 2008 08:28
License: [undefiniert]
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