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Galvanoformung von Mikro-Trennmembranen

Wohlgemuth, C. ; Werthschützky, Roland (2007)
Galvanoformung von Mikro-Trennmembranen.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Typ des Eintrags: Konferenzveröffentlichung
Erschienen: 2007
Autor(en): Wohlgemuth, C. ; Werthschützky, Roland
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Galvanoformung von Mikro-Trennmembranen
Sprache: Deutsch
Publikationsjahr: 2007
Ort: Berlin ; Offenbach
Verlag: VDE
Reihe: Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik : GMM-Workshop vom 7. bis 8. Mai in Karlsruhe / Veranstalter: VDE/VDI Gesellschaft Mikroelektronik. Mikro- und Feinwerktechnik (GMM). Wissenschaftl. Leitung des Workshops: Helmut F. Schlaak. - B
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mess- und Sensortechnik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018)
Hinterlegungsdatum: 20 Nov 2008 08:28
Letzte Änderung: 05 Mär 2013 09:16
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