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Überlastfester piezoresistiver Silizium-Hochdrucksensor

Heinickel, Patrick ; Werthschützky, Roland :
Überlastfester piezoresistiver Silizium-Hochdrucksensor.
In: Sensor und Test 2007, Nürnberg, Germany.
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (2007)

Typ des Eintrags: Konferenz- oder Workshop-Beitrag (Keine Angabe)
Erschienen: 2007
Autor(en): Heinickel, Patrick ; Werthschützky, Roland
Titel: Überlastfester piezoresistiver Silizium-Hochdrucksensor
Sprache: Deutsch
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen > Mess- und Sensortechnik
Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen
Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Veranstaltungstitel: Sensor und Test 2007
Veranstaltungsort: Nürnberg, Germany
Hinterlegungsdatum: 20 Nov 2008 08:28
Zusätzliche Informationen:

Poster FMS Dresden

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