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Einfluss der Gehäusung auf die Messunsicherheit von mikrogehäusten Drucksensoren mit piezoresistivem Messelement

Sindlinger, Stefan (2007):
Einfluss der Gehäusung auf die Messunsicherheit von mikrogehäusten Drucksensoren mit piezoresistivem Messelement.
Darmstadt, Technische Universität, TU Darmstadt, 11, [Ph.D. Thesis]

Item Type: Ph.D. Thesis
Erschienen: 2007
Creators: Sindlinger, Stefan
Title: Einfluss der Gehäusung auf die Messunsicherheit von mikrogehäusten Drucksensoren mit piezoresistivem Messelement
Language: German
Volume: 11
Place of Publication: Darmstadt
Publisher: Technische Universität
Collation: IX, 147 S. : graph. Darst.
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
Date Deposited: 20 Nov 2008 08:26
License: [undefiniert]
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