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Einfluss der Gehäusung auf die Messunsicherheit von mikrogehäusten Drucksensoren mit piezoresistivem Messelement

Sindlinger, Stefan :
Einfluss der Gehäusung auf die Messunsicherheit von mikrogehäusten Drucksensoren mit piezoresistivem Messelement.
Technische Universität , Darmstadt
[Dissertation]

Typ des Eintrags: Dissertation
Erschienen: 2007
Autor(en): Sindlinger, Stefan
Titel: Einfluss der Gehäusung auf die Messunsicherheit von mikrogehäusten Drucksensoren mit piezoresistivem Messelement
Sprache: Deutsch
Band: 11
Ort: Darmstadt
Verlag: Technische Universität
Kollation: IX, 147 S. : graph. Darst.
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 20 Nov 2008 08:26
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