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Combining Embedded and Overlayer Compressive Stressors in Advanced SOI CMOS Technologies

Wei, Andy ; Kammler, Thorsten ; Häntschel, Jan ; Bierstedt, Helmut ; Biethan, Jens-Peter ; Hellmich, A. ; Hempel, K. ; Klais, J. ; Koerner, G. ; Lenski, Markus ; Mantei, T. ; Neu, A. ; Otterbach, R. ; Reichel, Carsten ; Trui, Bernhard ; Burbach, G. ; Feudel, T. ; Javorka, P. ; Schwan, C. ; Kepler, Nick ; Engelmann, H. J. ; Ziemer-Popp, C. ; Herzog, O. ; Greenlaw, David ; Raab, M. ; Stephan, Rolf ; Horstmann, M. ; Hansson, P. O. ; Samoilov, A. ; Sanchez, E. ; Luckner, O. ; Weiher-Telford, S. (2005)
Combining Embedded and Overlayer Compressive Stressors in Advanced SOI CMOS Technologies.
International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2005). Kobe (Japan) (13.09.2005-15.09.2005)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Typ des Eintrags: Konferenzveröffentlichung
Erschienen: 2005
Autor(en): Wei, Andy ; Kammler, Thorsten ; Häntschel, Jan ; Bierstedt, Helmut ; Biethan, Jens-Peter ; Hellmich, A. ; Hempel, K. ; Klais, J. ; Koerner, G. ; Lenski, Markus ; Mantei, T. ; Neu, A. ; Otterbach, R. ; Reichel, Carsten ; Trui, Bernhard ; Burbach, G. ; Feudel, T. ; Javorka, P. ; Schwan, C. ; Kepler, Nick ; Engelmann, H. J. ; Ziemer-Popp, C. ; Herzog, O. ; Greenlaw, David ; Raab, M. ; Stephan, Rolf ; Horstmann, M. ; Hansson, P. O. ; Samoilov, A. ; Sanchez, E. ; Luckner, O. ; Weiher-Telford, S.
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Combining Embedded and Overlayer Compressive Stressors in Advanced SOI CMOS Technologies
Sprache: Englisch
Publikationsjahr: 2005
Ort: Tokyo
Verlag: Publication Office, Inter Group Corp.
Buchtitel: Extended abstracts of the 2005 International Conference on Solid State Devices and Materials
Veranstaltungstitel: International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2005)
Veranstaltungsort: Kobe (Japan)
Veranstaltungsdatum: 13.09.2005-15.09.2005
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 05 Fachbereich Physik
Hinterlegungsdatum: 20 Nov 2008 08:26
Letzte Änderung: 12 Nov 2024 10:35
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