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Mikrogehäuste mediengetrennte Silizium-Druck- und Differenzdrucksensoren für industrielle Anwendungen

Wohlgemuth, Christian ; Sindlinger, Stefan ; Werthschützky, Roland ; Thiele, P. (2005)
Mikrogehäuste mediengetrennte Silizium-Druck- und Differenzdrucksensoren für industrielle Anwendungen.
In: tm, Technisches Messen, 72
Artikel, Bibliographie

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 2005
Autor(en): Wohlgemuth, Christian ; Sindlinger, Stefan ; Werthschützky, Roland ; Thiele, P.
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Mikrogehäuste mediengetrennte Silizium-Druck- und Differenzdrucksensoren für industrielle Anwendungen
Sprache: Deutsch
Publikationsjahr: 2005
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: tm, Technisches Messen
Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: 72
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018)
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mess- und Sensortechnik
Hinterlegungsdatum: 20 Nov 2008 08:24
Letzte Änderung: 20 Feb 2020 13:25
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