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Mikrogehäuste mediengetrennte Silizium-Druck- und Differenzdrucksensoren für industrielle Anwendungen

Wohlgemuth, Christian and Sindlinger, Stefan and Werthschützky, Roland and Thiele, P. (2005):
Mikrogehäuste mediengetrennte Silizium-Druck- und Differenzdrucksensoren für industrielle Anwendungen.
In: tm, Technisches Messen, 72. pp. 638-645, [Article]

Item Type: Article
Erschienen: 2005
Creators: Wohlgemuth, Christian and Sindlinger, Stefan and Werthschützky, Roland and Thiele, P.
Title: Mikrogehäuste mediengetrennte Silizium-Druck- und Differenzdrucksensoren für industrielle Anwendungen
Language: German
Journal or Publication Title: tm, Technisches Messen
Journal volume: 72
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design (dissolved 18.12.2018)
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Measurement and Sensor Technology
Date Deposited: 20 Nov 2008 08:24
License: [undefiniert]
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