Wohlgemuth, Christian ; Sindlinger, Stefan ; Werthschützky, Roland ; Thiele, P. (2005)
Mikrogehäuste mediengetrennte Silizium-Druck- und Differenzdrucksensoren für industrielle Anwendungen.
In: tm, Technisches Messen, 72
Artikel, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 2005 |
| Autor(en): | Wohlgemuth, Christian ; Sindlinger, Stefan ; Werthschützky, Roland ; Thiele, P. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Mikrogehäuste mediengetrennte Silizium-Druck- und Differenzdrucksensoren für industrielle Anwendungen |
| Sprache: | Deutsch |
| Publikationsjahr: | 2005 |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | tm, Technisches Messen |
| Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: | 72 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018) 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mess- und Sensortechnik |
| Hinterlegungsdatum: | 20 Nov 2008 08:24 |
| Letzte Änderung: | 20 Feb 2020 13:25 |
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