Zeng, Kaiping ; Liu, Zhenyu ; Korvink, Jan G. (2004)
Dynamic modeling of interactions between fields and matter in MEMS devices.
In: Microsystem Technologies, 10 (5)
doi: 10.1007/s00542-004-0417-0
Artikel, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 2004 |
| Autor(en): | Zeng, Kaiping ; Liu, Zhenyu ; Korvink, Jan G. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Dynamic modeling of interactions between fields and matter in MEMS devices |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 1 August 2004 |
| Verlag: | Springer |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Microsystem Technologies |
| Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: | 10 |
| (Heft-)Nummer: | 5 |
| DOI: | 10.1007/s00542-004-0417-0 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 20 Fachbereich Informatik |
| Hinterlegungsdatum: | 20 Nov 2008 08:20 |
| Letzte Änderung: | 12 Mai 2020 10:02 |
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