Allongue, P. ; Jiang, R. ; Kirchner, V. ; Trimmer, A. L. ; Schuster, Rolf (2004)
Electrochemical micromachining of p-type silicon.
In: Journal of Physical Chemistry : B, 108
Artikel, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 2004 |
| Autor(en): | Allongue, P. ; Jiang, R. ; Kirchner, V. ; Trimmer, A. L. ; Schuster, Rolf |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Electrochemical micromachining of p-type silicon |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 2004 |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Journal of Physical Chemistry : B |
| Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: | 108 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 07 Fachbereich Chemie |
| Hinterlegungsdatum: | 20 Nov 2008 08:19 |
| Letzte Änderung: | 20 Feb 2020 13:25 |
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