Allongue, P. ; Jiang, R. ; Kirchner, V. ; Trimmer, A. L. ; Schuster, Rolf (2004)
Electrochemical micromachining of p-type silicon.
In: Journal of Physical Chemistry : B, 108
Artikel, Bibliographie
Typ des Eintrags: | Artikel |
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Erschienen: | 2004 |
Autor(en): | Allongue, P. ; Jiang, R. ; Kirchner, V. ; Trimmer, A. L. ; Schuster, Rolf |
Art des Eintrags: | Bibliographie |
Titel: | Electrochemical micromachining of p-type silicon |
Sprache: | Englisch |
Publikationsjahr: | 2004 |
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Journal of Physical Chemistry : B |
Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: | 108 |
Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 07 Fachbereich Chemie |
Hinterlegungsdatum: | 20 Nov 2008 08:19 |
Letzte Änderung: | 20 Feb 2020 13:25 |
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