Stobiecki, T. ; Stobiecki, F. ; Conradi, T. ; Kraegermann, S. ; Röll, K. ; Berg, G. (1995)
RFA as control method of the reactive sputtering process on TiN films.
In: Fresenius Journal of Analytical Chemistry, 353
doi: 10.1007/BF00321317
Artikel, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 1995 |
| Autor(en): | Stobiecki, T. ; Stobiecki, F. ; Conradi, T. ; Kraegermann, S. ; Röll, K. ; Berg, G. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | RFA as control method of the reactive sputtering process on TiN films |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 1995 |
| Verlag: | Springer |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Fresenius Journal of Analytical Chemistry |
| Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: | 353 |
| DOI: | 10.1007/BF00321317 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 16 Fachbereich Maschinenbau |
| Hinterlegungsdatum: | 19 Nov 2008 15:56 |
| Letzte Änderung: | 19 Apr 2024 12:37 |
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