Stobiecki, T. ; Stobiecki, F. ; Conradi, T. ; Kraegermann, S. ; Röll, K. ; Berg, G. (1995)
RFA as control method of the reactive sputtering process on TiN films.
In: Fresenius Journal of Analytical Chemistry, 353
doi: 10.1007/BF00321317
Artikel, Bibliographie
Typ des Eintrags: | Artikel |
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Erschienen: | 1995 |
Autor(en): | Stobiecki, T. ; Stobiecki, F. ; Conradi, T. ; Kraegermann, S. ; Röll, K. ; Berg, G. |
Art des Eintrags: | Bibliographie |
Titel: | RFA as control method of the reactive sputtering process on TiN films |
Sprache: | Englisch |
Publikationsjahr: | 1995 |
Verlag: | Springer |
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Fresenius Journal of Analytical Chemistry |
Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: | 353 |
DOI: | 10.1007/BF00321317 |
Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 16 Fachbereich Maschinenbau |
Hinterlegungsdatum: | 19 Nov 2008 15:56 |
Letzte Änderung: | 19 Apr 2024 12:37 |
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