Wohlgemuth, C. ; Werthschützky, Roland (2007)
Design of optimised metal diaphragms for miniaturised media separated silicon pressure sensors.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
|---|---|
| Erschienen: | 2007 |
| Autor(en): | Wohlgemuth, C. ; Werthschützky, Roland |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Design of optimised metal diaphragms for miniaturised media separated silicon pressure sensors |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 2007 |
| Reihe: | Sensor und Test 2007, International Conference <13, 2007, Nürnberg>, 2007, S. 247-252 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mess- und Sensortechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018) |
| Hinterlegungsdatum: | 20 Nov 2008 08:18 |
| Letzte Änderung: | 05 Mär 2013 09:01 |
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