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Miniaturisierte Positioniersysteme mit mehreren Freiheitsgraden auf der Basis monolithischer Strukturen

Jungnickel, Uwe :
Miniaturisierte Positioniersysteme mit mehreren Freiheitsgraden auf der Basis monolithischer Strukturen.
Techn. Univ. , Darmstadt
[Dissertation]

Typ des Eintrags: Dissertation
Erschienen: 2004
Autor(en): Jungnickel, Uwe
Titel: Miniaturisierte Positioniersysteme mit mehreren Freiheitsgraden auf der Basis monolithischer Strukturen
Sprache: Deutsch
Ort: Darmstadt
Verlag: Techn. Univ.
Kollation: X, 170 S. : Ill., graph. Darst
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 20 Nov 2008 08:18
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