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Miniaturisierte Positioniersysteme mit mehreren Freiheitsgraden auf der Basis monolithischer Strukturen

Jungnickel, Uwe (2004)
Miniaturisierte Positioniersysteme mit mehreren Freiheitsgraden auf der Basis monolithischer Strukturen.
Technische Universität Darmstadt
Dissertation, Bibliographie

Typ des Eintrags: Dissertation
Erschienen: 2004
Autor(en): Jungnickel, Uwe
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Miniaturisierte Positioniersysteme mit mehreren Freiheitsgraden auf der Basis monolithischer Strukturen
Sprache: Deutsch
Publikationsjahr: 2004
Ort: Darmstadt
Verlag: Techn. Univ.
Kollation: X, 170 S. : Ill., graph. Darst
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 20 Nov 2008 08:18
Letzte Änderung: 26 Aug 2018 21:23
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