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A new analytical formulation for the design of piezoresistive silicon pressure measurement elements

Stavroulis, Stefanos ; Werthschützky, Roland :
A new analytical formulation for the design of piezoresistive silicon pressure measurement elements.
In: International Conference on Sensors & Systems <2002, Sankt-Peterburg>: Sensors & systems, proceedings; Vol. 1.- Sankt-Peterburg, 2002.- S. 66-70 .
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (2002)

Typ des Eintrags: Konferenz- oder Workshop-Beitrag (Keine Angabe)
Erschienen: 2002
Autor(en): Stavroulis, Stefanos ; Werthschützky, Roland
Titel: A new analytical formulation for the design of piezoresistive silicon pressure measurement elements
Sprache: Englisch
Reihe: International Conference on Sensors & Systems <2002, Sankt-Peterburg>: Sensors & systems, proceedings; Vol. 1.- Sankt-Peterburg, 2002.- S. 66-70
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen > Mess- und Sensortechnik
Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen
Hinterlegungsdatum: 20 Nov 2008 08:16
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