Stavroulis, Stefanos ; Werthschützky, Roland (2002)
A new analytical formulation for the design of piezoresistive silicon pressure measurement elements.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
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Erschienen: | 2002 |
Autor(en): | Stavroulis, Stefanos ; Werthschützky, Roland |
Art des Eintrags: | Bibliographie |
Titel: | A new analytical formulation for the design of piezoresistive silicon pressure measurement elements |
Sprache: | Englisch |
Publikationsjahr: | 2002 |
Reihe: | International Conference on Sensors & Systems <2002, Sankt-Peterburg>: Sensors & systems, proceedings; Vol. 1.- Sankt-Peterburg, 2002.- S. 66-70 |
Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mess- und Sensortechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018) |
Hinterlegungsdatum: | 20 Nov 2008 08:16 |
Letzte Änderung: | 05 Mär 2013 08:56 |
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