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A new analytical formulation for the design of piezoresistive silicon pressure measurement elements

Stavroulis, Stefanos ; Werthschützky, Roland (2002)
A new analytical formulation for the design of piezoresistive silicon pressure measurement elements.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Typ des Eintrags: Konferenzveröffentlichung
Erschienen: 2002
Autor(en): Stavroulis, Stefanos ; Werthschützky, Roland
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: A new analytical formulation for the design of piezoresistive silicon pressure measurement elements
Sprache: Englisch
Publikationsjahr: 2002
Reihe: International Conference on Sensors & Systems <2002, Sankt-Peterburg>: Sensors & systems, proceedings; Vol. 1.- Sankt-Peterburg, 2002.- S. 66-70
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mess- und Sensortechnik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018)
Hinterlegungsdatum: 20 Nov 2008 08:16
Letzte Änderung: 05 Mär 2013 08:56
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