Bender, Marcus (1998)
Untersuchungen zur Prozeßparameterabhängigkeit der elektrischen und strukturellen Eigenschaften von magnetrongesputterten Indium-Zinn-Oxid-Filmen.
Technische Universität Darmstadt
Dissertation, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Dissertation |
|---|---|
| Erschienen: | 1998 |
| Autor(en): | Bender, Marcus |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Untersuchungen zur Prozeßparameterabhängigkeit der elektrischen und strukturellen Eigenschaften von magnetrongesputterten Indium-Zinn-Oxid-Filmen |
| Sprache: | Deutsch |
| Publikationsjahr: | 19 November 1998 |
| Ort: | Darmstadt |
| Verlag: | Technische Univ. Darmstadt |
| Kollation: | 123 S |
| Auflage: | Darmstadt: 1999. II, 123 S |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 05 Fachbereich Physik |
| Hinterlegungsdatum: | 19 Nov 2008 15:56 |
| Letzte Änderung: | 05 Mär 2013 08:31 |
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