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Untersuchungen zur Prozeßparameterabhängigkeit der elektrischen und strukturellen Eigenschaften von magnetrongesputterten Indium-Zinn-Oxid-Filmen

Bender, Marcus :
Untersuchungen zur Prozeßparameterabhängigkeit der elektrischen und strukturellen Eigenschaften von magnetrongesputterten Indium-Zinn-Oxid-Filmen.
Technische Univ. Darmstadt , Darmstadt
[Ph.D. Thesis]

Item Type: Ph.D. Thesis
Erschienen: 1998
Creators: Bender, Marcus
Title: Untersuchungen zur Prozeßparameterabhängigkeit der elektrischen und strukturellen Eigenschaften von magnetrongesputterten Indium-Zinn-Oxid-Filmen
Language: German
Place of Publication: Darmstadt
Publisher: Technische Univ. Darmstadt
Edition: Darmstadt: 1999. II, 123 S
Collation: 123 S
Divisions: 05 Department of Physics
Date Deposited: 19 Nov 2008 15:56
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