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Untersuchungen zur Prozeßparameterabhängigkeit der elektrischen und strukturellen Eigenschaften von magnetrongesputterten Indium-Zinn-Oxid-Filmen

Bender, Marcus :
Untersuchungen zur Prozeßparameterabhängigkeit der elektrischen und strukturellen Eigenschaften von magnetrongesputterten Indium-Zinn-Oxid-Filmen.
Technische Univ. Darmstadt , Darmstadt
[Dissertation]

Typ des Eintrags: Dissertation
Erschienen: 1998
Autor(en): Bender, Marcus
Titel: Untersuchungen zur Prozeßparameterabhängigkeit der elektrischen und strukturellen Eigenschaften von magnetrongesputterten Indium-Zinn-Oxid-Filmen
Sprache: Deutsch
Ort: Darmstadt
Verlag: Technische Univ. Darmstadt
Edition: Darmstadt: 1999. II, 123 S
Kollation: 123 S
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Physik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 15:56
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