Klemberg-Sapieha, J. ; Martinu, L. ; Thielemann, C. ; Günther, P. (1995)
Plasma deposition of low stress electret films for electroacoustic and solar cell applications.
In: Journal of vaccum science and technology. 13 (1995)
Artikel, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 1995 |
| Autor(en): | Klemberg-Sapieha, J. ; Martinu, L. ; Thielemann, C. ; Günther, P. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Plasma deposition of low stress electret films for electroacoustic and solar cell applications |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 1995 |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Journal of vaccum science and technology. 13 (1995) |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Hinterlegungsdatum: | 19 Nov 2008 16:28 |
| Letzte Änderung: | 20 Feb 2020 13:32 |
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