Hohlfeld, Olaf ; Werthschützky, Roland (1999)
Hermetisch dichte Miniaturgehäuse für mikromechanisch hergestellte Drucksensoren.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
|---|---|
| Erschienen: | 1999 |
| Autor(en): | Hohlfeld, Olaf ; Werthschützky, Roland |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Hermetisch dichte Miniaturgehäuse für mikromechanisch hergestellte Drucksensoren |
| Sprache: | Deutsch |
| Publikationsjahr: | 1999 |
| Reihe: | Internationales Wissenschaftliches Kolloquium - International Scientific Colloquium <44, 1999, Ilmenau>: Proceedings. Vol. 2, S. 360-365 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mess- und Sensortechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018) |
| Hinterlegungsdatum: | 19 Nov 2008 16:28 |
| Letzte Änderung: | 05 Mär 2013 08:52 |
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