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Piezoelektrische Schallwandler auf der Basis von Silizium Mikromechanik

Fischer, Marc ; Niederdränk, T. (2000)
Piezoelektrische Schallwandler auf der Basis von Silizium Mikromechanik.
In: Fortschritte der Akustik: DAGA 2000
Buchkapitel, Bibliographie

Typ des Eintrags: Buchkapitel
Erschienen: 2000
Autor(en): Fischer, Marc ; Niederdränk, T.
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Piezoelektrische Schallwandler auf der Basis von Silizium Mikromechanik
Sprache: Deutsch
Publikationsjahr: 2000
Ort: Oldenburg
Verlag: Deutsche Ges. für Akustik
Buchtitel: Fortschritte der Akustik: DAGA 2000
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:25
Letzte Änderung: 05 Mär 2013 08:49
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