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Piezoelektrische Schallwandler auf der Basis von Silizium Mikromechanik

Fischer, Marc and Niederdränk, T. (2000):
Piezoelektrische Schallwandler auf der Basis von Silizium Mikromechanik.
In: Fortschritte der Akustik: DAGA 2000. - Oldenburg: Dt. Ges. für Akustik, 2000. S. 544-545, Oldenburg, Dt. Ges. für Akustik, [Book Section]

Item Type: Book Section
Erschienen: 2000
Creators: Fischer, Marc and Niederdränk, T.
Title: Piezoelektrische Schallwandler auf der Basis von Silizium Mikromechanik
Language: German
Title of Book: Fortschritte der Akustik: DAGA 2000. - Oldenburg: Dt. Ges. für Akustik, 2000. S. 544-545
Place of Publication: Oldenburg
Publisher: Dt. Ges. für Akustik
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
Date Deposited: 19 Nov 2008 16:25
License: [undefiniert]
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