TU Darmstadt / ULB / TUbiblio

III-V compound MEMS solutions for sensors and optical communications

Mutamba, Kabula ; Pfeiffer, J. ; Beilenhoff, K. ; Peerlings, J. ; Megej, A. ; Meissner, P. ; Hartnagel, H. L. :
III-V compound MEMS solutions for sensors and optical communications.
In: Symposium on Microsystem Technology <2000, National Cheng Kung Univ., Taiwan>: Proceedings. S. 163-169 .
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (2000)

Typ des Eintrags: Konferenz- oder Workshop-Beitrag (Keine Angabe)
Erschienen: 2000
Autor(en): Mutamba, Kabula ; Pfeiffer, J. ; Beilenhoff, K. ; Peerlings, J. ; Megej, A. ; Meissner, P. ; Hartnagel, H. L.
Titel: III-V compound MEMS solutions for sensors and optical communications
Sprache: Englisch
Reihe: Symposium on Microsystem Technology <2000, National Cheng Kung Univ., Taiwan>: Proceedings. S. 163-169
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:25
Export:

Optionen (nur für Redakteure)

Eintrag anzeigen Eintrag anzeigen