Dehé, Alfons ; Fricke, ; Mutamba, ; Hartnagel, (1995)
A piezoresistive GaAs pressure sensor with GaAs/AlGaAs membrane technology.
In: Journal of micromechanics and microengineering. 5 (1995), S. 139-142
Artikel, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 1995 |
| Autor(en): | Dehé, Alfons ; Fricke, ; Mutamba, ; Hartnagel, |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | A piezoresistive GaAs pressure sensor with GaAs/AlGaAs membrane technology |
| Sprache: | Deutsch |
| Publikationsjahr: | 1995 |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Journal of micromechanics and microengineering. 5 (1995), S. 139-142 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrowellenelektronik |
| Hinterlegungsdatum: | 19 Nov 2008 16:24 |
| Letzte Änderung: | 20 Feb 2020 13:32 |
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