TU Darmstadt / ULB / TUbiblio

A piezoresistive GaAs pressure sensor with GaAs/AlGaAs membrane technology

Dehé, Alfons ; Fricke, ; Mutamba, ; Hartnagel, :
A piezoresistive GaAs pressure sensor with GaAs/AlGaAs membrane technology.
In: Journal of micromechanics and microengineering. 5 (1995), S. 139-142
[Artikel], (1995)

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 1995
Autor(en): Dehé, Alfons ; Fricke, ; Mutamba, ; Hartnagel,
Titel: A piezoresistive GaAs pressure sensor with GaAs/AlGaAs membrane technology
Sprache: Deutsch
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: Journal of micromechanics and microengineering. 5 (1995), S. 139-142
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:24
Export:

Optionen (nur für Redakteure)

Eintrag anzeigen Eintrag anzeigen