Fedorov, F. S. ; Podgainov, D. V. ; Varezhnikov, A. S. ; Lashkov, A. V. ; Dykin, V. S. ; Toimil-Molares, M. E. ; Sysoev, V. V. (2015)
The gas multisensor chip fabricated by direct electrochemical deposition of tin oxide.
14th IEEE SENSORS. Busan, Korea (South) (01.11.-04.11.2015)
doi: 10.1109/ICSENS.2015.7370406
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
Kurzbeschreibung (Abstract)
We report a direct synthesis of tin oxide layers onto Si/SiO2 chip equipped with Pt multiple electrodes to develop new gas-analytical multisensor arrays. The tailored local morphology of the layer makes it possible to differentiate the gas response of each layer segment and to build a gas-selective vector signal recognized by pattern recognition algorithms in frames of conventional multisensor principles. The response of the chip to alcohols is in the ppm range.
| Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
|---|---|
| Erschienen: | 2015 |
| Autor(en): | Fedorov, F. S. ; Podgainov, D. V. ; Varezhnikov, A. S. ; Lashkov, A. V. ; Dykin, V. S. ; Toimil-Molares, M. E. ; Sysoev, V. V. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | The gas multisensor chip fabricated by direct electrochemical deposition of tin oxide |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 2015 |
| Ort: | New York, NY |
| Verlag: | IEEE |
| Buchtitel: | 2015 IEEE SENSORS |
| Veranstaltungstitel: | 14th IEEE SENSORS |
| Veranstaltungsort: | Busan, Korea (South) |
| Veranstaltungsdatum: | 01.11.-04.11.2015 |
| DOI: | 10.1109/ICSENS.2015.7370406 |
| Kurzbeschreibung (Abstract): | We report a direct synthesis of tin oxide layers onto Si/SiO2 chip equipped with Pt multiple electrodes to develop new gas-analytical multisensor arrays. The tailored local morphology of the layer makes it possible to differentiate the gas response of each layer segment and to build a gas-selective vector signal recognized by pattern recognition algorithms in frames of conventional multisensor principles. The response of the chip to alcohols is in the ppm range. |
| Freie Schlagworte: | tin oxide, electrochemical deposition, gas sensor, pattern recognition, multisensor array |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft > Fachgebiet Ionenstrahlmodifizierte Materialien |
| Hinterlegungsdatum: | 18 Mär 2024 06:48 |
| Letzte Änderung: | 18 Mär 2024 06:48 |
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