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Mikrooptisches Silizium-Mikrofon mit Fabry-Perot-Cavity

Klaiber, Martin (2004)
Mikrooptisches Silizium-Mikrofon mit Fabry-Perot-Cavity.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Typ des Eintrags: Konferenzveröffentlichung
Erschienen: 2004
Autor(en): Klaiber, Martin
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Mikrooptisches Silizium-Mikrofon mit Fabry-Perot-Cavity
Sprache: Deutsch
Publikationsjahr: 2004
Ort: Düsseldorf
Verlag: VDI-Verl.
Reihe: Sensoren und Messsysteme 2004 : Tagung Ludwigsburg, 15. und 16. März 2004 / VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik.- Düsseldorf : VDI-Verl., 2004.- 922 S.- (VDI-Berichte ; 1829).-ISBN 3-18-091829-2.- S. 349-357
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:24
Letzte Änderung: 05 Mär 2013 08:47
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