Hochentropie-Legierungen (HEAs) waren in den letzten 20 Jahren Gegenstand zahlreicher Untersuchungen. Es wurden verschiedene Legierungssysteme erforscht, um HEA-Systeme mit verbesserten Eigenschaftskombinationen zu identifizieren, was zu einem außerordentlichen Wachstum dieses Bereichs führte. Die CoCrFeMnNi-Legierung mit äquiatomarer, kubisch-flächenzentrierter (FCC) Struktur, die auch als Cantor-Legierung bekannt ist, hat in den letzten Jahrzehnten vor allem wegen ihrer hervorragenden mechanischen Eigenschaften große Aufmerksamkeit auf sich gezogen. Das bemerkenswerteste Merkmal dieser Legierung ist die überlegene Kombination aus Duktilität und Festigkeit bei kryogenen Temperaturen im Vergleich zu Raumtemperatur, insbesondere im feinkörnigen Zustand. Im Allgemeinen weist die CoCrFeMnNi-Legierung eine dramatische Duktilität und eine starke Kaltverfestigung auf, vor allem bei kryogenen Temperaturen, aber es fehlt ihr an vergleichbarer Festigkeit. Um die Festigkeit zu verbessern, wurden für die folgende Studie CoCrFeMnNi-Legierungen mit reduziertem Cr-Gehalt und mit unterschiedlichen Gehalten an interstitiellem C synthetisiert. Das Hochdruck-Torsionsverfahren (HPT), die effektivste Methode der schweren plastischen Verformung (SPD), wurde an den Versuchslegierungen durchgeführt, um nanokristalline HEAs zu erhalten. Währenddessen wurden die Mikrostruktur und die Härteentwicklung im laufe des HPT-Prozesses untersucht, und im Anschluss weitere mechanische Eigenschaften. Anhand der elektronenmikroskopischen Charakterisierung wurden die Mikrostruktur und die Schwankungen der Zusammensetzung der nanokristallinen HEAs untersucht. Die Ergebnisse zeigten, dass die interstitielle C-Legierung die Kornverfeinerung, die Erhöhung der Versetzungsdichte, die Verbesserung der Zugfestigkeit und die C-Segregation an den nanokristallinen Korngrenzen erheblich fördert. Die Mechanismen der Kornfragmentierung, des Bruchs und der Verfestigung wurden in den folgenden Kapiteln diskutiert. Das C-Segregationsverhalten während der HPT bei Raum- und Tiefsttemperatur wurde im Detail untersucht. Die Ergebnisse dieser Arbeit könnten eine gute Referenz für die Herstellung hochfester Legierungen mit SPD-Methoden sein. Das Glühen nach der Verformung ist bei SPD-verarbeiteten Legierungen üblich, um eine verbesserte Leistung zu erzielen und Sprödbrüche zu vermeiden. Daher ist die Erforschung der thermischen Stabilität der C-legierten nanokristallinen HEAs für die Verbesserung der mechanischen Eigenschaften sehr bedeutend. Durch elektronenmikroskopische Untersuchungen wurden die Entmischung der Elemente, die Keimbildung von Ausscheidungen, die Zersetzung der Matrixphase und das Kornwachstum nach dem Glühen in einem breiten Temperaturintervall veranschaulicht. Die Ergebnisse deuten darauf hin, dass die nanokristalline Hochentropie-Legierungen in einer FCC-Phase bis 400 °C thermisch stabil ist. Zwischen 500 und 600 °C kommt es zur Ausscheidung von sekundären Phasen und Bildung von Korngrenzenssegregationen. In diesem Temperaturintervall bildeten sich neue Phasen, wie die CoFe B2-Phase, die NiMn FCC-Phase und M7C3-Karbid. Die Entwicklung der phasen und die Auswirkungen auf die mechanischen Eigenschaften durch die zahlreichen Ausscheidungen werden in den folgenden Kapiteln vorgestellt. Infolgedessen optimierten die Ergebnisse der vorliegenden Arbeit die derzeitigen Erkenntnisse über die thermische Stabilität von nanokristallinen HEAs und schlagen ein theoretisches Modell für den Ausscheidungsprozess vor.