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Entwicklung und Methoden zur Untersuchung organischer Spurenverunreinigungen in hochreinen Chemikalien für die Halbleiterproduktion mit der Gaschromatographie

Kusserow, Burkhard :
Entwicklung und Methoden zur Untersuchung organischer Spurenverunreinigungen in hochreinen Chemikalien für die Halbleiterproduktion mit der Gaschromatographie.
Techn. Univ. , Darmstadt
[Dissertation]

Typ des Eintrags: Dissertation
Erschienen: 2000
Autor(en): Kusserow, Burkhard
Titel: Entwicklung und Methoden zur Untersuchung organischer Spurenverunreinigungen in hochreinen Chemikalien für die Halbleiterproduktion mit der Gaschromatographie
Sprache: Deutsch
Ort: Darmstadt
Verlag: Techn. Univ.
Kollation: 152 Bl.
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Chemie
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:23
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