Kusserow, Burkhard (2000)
Entwicklung und Methoden zur Untersuchung organischer Spurenverunreinigungen in hochreinen Chemikalien für die Halbleiterproduktion mit der Gaschromatographie.
Technische Universität Darmstadt
Dissertation, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Dissertation |
|---|---|
| Erschienen: | 2000 |
| Autor(en): | Kusserow, Burkhard |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Entwicklung und Methoden zur Untersuchung organischer Spurenverunreinigungen in hochreinen Chemikalien für die Halbleiterproduktion mit der Gaschromatographie |
| Sprache: | Deutsch |
| Publikationsjahr: | 2000 |
| Ort: | Darmstadt |
| Verlag: | Techn. Univ. |
| Kollation: | 152 Bl. |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 07 Fachbereich Chemie |
| Hinterlegungsdatum: | 19 Nov 2008 16:23 |
| Letzte Änderung: | 05 Mär 2013 08:47 |
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