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Verfahren zur Verifizierung geringer Belegungsschichten von deponierten Analyten in bzw. auf Wafern mittels Röntgenfluoreszenzspektrometrie

Bender, Carmen :
Verfahren zur Verifizierung geringer Belegungsschichten von deponierten Analyten in bzw. auf Wafern mittels Röntgenfluoreszenzspektrometrie.
Technische Univ. Darmstadt , Darmstadt
[Dissertation]

Typ des Eintrags: Dissertation
Erschienen: 1995
Autor(en): Bender, Carmen
Titel: Verfahren zur Verifizierung geringer Belegungsschichten von deponierten Analyten in bzw. auf Wafern mittels Röntgenfluoreszenzspektrometrie
Sprache: Deutsch
Ort: Darmstadt
Verlag: Technische Univ. Darmstadt
Edition: Darmstadt: 1995. 181 Bl.
Kollation: 181 Bl.
Fachbereich(e)/-gebiet(e): FB Materialwissenschaft (aufgegangen in FB11)
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:23
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