Bender, Carmen (1995)
Verfahren zur Verifizierung geringer Belegungsschichten von deponierten Analyten in bzw. auf Wafern mittels Röntgenfluoreszenzspektrometrie.
Technische Universität Darmstadt
Dissertation, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Dissertation |
|---|---|
| Erschienen: | 1995 |
| Autor(en): | Bender, Carmen |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Verfahren zur Verifizierung geringer Belegungsschichten von deponierten Analyten in bzw. auf Wafern mittels Röntgenfluoreszenzspektrometrie |
| Sprache: | Deutsch |
| Publikationsjahr: | 1995 |
| Ort: | Darmstadt |
| Verlag: | Technische Univ. Darmstadt |
| Kollation: | 181 Bl. |
| Auflage: | Darmstadt: 1995. 181 Bl. |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Fachbereich Materialwissenschaft (1999 aufgegangen in 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften) 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften |
| Hinterlegungsdatum: | 19 Nov 2008 16:23 |
| Letzte Änderung: | 05 Mär 2013 08:47 |
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