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Erzeugung lokaler Eigenschaftsprofile bei PVD-Sputterschichten für tribologische Anwendungen

Berg, Günter (1998)
Erzeugung lokaler Eigenschaftsprofile bei PVD-Sputterschichten für tribologische Anwendungen.
Technische Universität Darmstadt
Dissertation, Bibliographie

Typ des Eintrags: Dissertation
Erschienen: 1998
Autor(en): Berg, Günter
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Erzeugung lokaler Eigenschaftsprofile bei PVD-Sputterschichten für tribologische Anwendungen
Sprache: Deutsch
Publikationsjahr: 1998
Ort: Aachen
Verlag: Shaker
Kollation: 167 S
Auflage: Aachen: Shaker, 1998. 167 S
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 16 Fachbereich Maschinenbau
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 15:55
Letzte Änderung: 05 Mär 2013 08:30
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